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자료유형 : 단행본
서명 / 저자 : 반도체 제조기술의 이해 : 현장 최고 전문가들의 결정체 / 곽노열 외 9인
개인저자 : 곽노열 | 배병욱 | 오경택 | 윤태균 | 이성희 | 임정훈 | 정용우 | 진수봉 | 최호승 | 홍기환 |
발행사항 : 서울 : 한올출판사, 2021
형태사항 : xix, 699p. : 도표, 천연삽화, 사진 ; 26cm.
일반사항 : 반도체 용어해설 수록
주제명 : Microelectronic packaging.
Microelectronics.
Integrated circuits
Electronic materials.
ISBN : 9791166470677
청구기호 : TK7874 반25
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소장자료

부가정보

01 반도체 개요
01. 반도체 정의
02. 반도체 역사
03. 미래 메모리 반도체

02 DRAM Memory 제품
01. DRAM Memory 소개
02. DRAM 기본 동작 소개
03. DRAM 주요 Process Module
04. DRAM 변화 방향


03 NAND Memory 제품
01. NAND FLASH Memory 소개
02. NAND FLASH 기본 동작 소개
03. 3D NAND 구조 소개
04. 3D NAND Key Process
05. Future NAND FLASH Memory

04 Diffusion_Furnace 공정
01. Diffusion 소개
02. Furnace공정 이해
03. Furnace 장비의 이해
04. 공정과 장비 관리 소개
05. 미래 기술 해결 과제

05 Diffusion (Ion Implant)
01. Ion Implantation공정 개요
02. DRAM/NAND Ion Implantation Application
03. Ion Implantation 구성과 Hardware
04. Ion Implantation Physics
05. Ion Implantation 관련 미래 기술

06 Thinfilm_ CVD 공정
01. CVD공정 소개
02. CVD공정의 역할 및 이해
03. CVD 제조 Fab 장비의 이해
04. CVD 주요 공정 장비의 소개
05. CVD 장비 향후 Trends

07 Thinfilm_ PVD 공정
01. PVD공정
02. PVD공정의 요구사항
03. Metal 물질의 특성
04. PVD 주요 특성의 이해
05. PVD공정의 Fab 장비의 이해
06. PVD공정 향후 Trends

08 Photo 공정
01. Photo공정의 역할
02. Photo공정
03. Photo 장비
04. Photo공정 관리
05. Photo 미래 기술

09 Etch 공정
01. Etch 소개
02. Etch 기본
03. Etch 적용과 응용
04. ETCH 실전, 양산 FAB에서 ETCH 엔지니어 업무
05. Etch Issue 및 향후 개발 방향

10 Cleaning 공정
01. Cleaning공정
02. Cleaning Chemical의 종류와 특징
03. Cleaning 장비의 종류와 특징
04. Cleaning공정의 품질 관리와 생산장비 관리
05. Cleaning의 미래기술

11 CMP 공정
01. CMP공정 소개
02. CMP공정의 종류와 특징
03. CMP 장비의 구성과 특징
04. CMP공정의 품질 관리와 생산 장비 관리
05. CMP의 미래 기술

12 MI (Metrology & Inspection)
01. Metrology
02. Inspection
03. 공정 계측 응용기술

13 반도체 용어해설

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